Основными параметрами пробивки отверстий одним импульсом лазерного излучения являются энергия импульса, его длительность и параметры фокусировки. Характеристики отверстия: глубина h и диаметр d.

Энергия импульса — наиболее важный параметр многоимпульсной пробивки отверстий. При одной и той же длительности импульса изменения характеристик отверстия добиваются различными способами регулирования энергии в импульсе. Основные способы такого регулирования: изменение электрической энергии накачки импульсных ламп; применение светофильтров; диафрагмирование луча.

На форму и параметры отверстия значительно влияют условия фокусировки излучения. Фокусировка характеризуется расположением фокальной плоскости, формируемой оптической системой, относительно поверхности материала: над поверхностью; на поверхности и под поверхностью (заглубление в толщу материала). При изменении положения фокуса энергия и длительность импульса остаются неизменными. Форма отверстия изменяется только в результате изменения хода лучей в районе фокуса оптической системы. В сходящемся пучке излучения отверстия приобретают коническую форму, а в расходящемся— цилиндрическую.

Однако из-за неравномерности распределения излучения по пятну нагрева и в течение импульса (вследствие теплопроводности и гидродинамических явлений) профиль отверстия, задаваемый ходом лучей, искажается. Появляются характерная воронка на входе и плавный переход дна отверстия к стенкам. Различный ход лучей при различных видах условий фокусировки предопределяет различный характер процесса разрушения материала.

Рассмотренные зависимости качественных и количественных характеристик отверстия от параметров лазерного излучения можно разбить на три основные группы факторов.

Факторы первой группы характеризуют нестабильность различных параметров лазерного излучения — энергии, длительности импульса, пространственно-временной структуры, угла расходимости.

Факторы второй группы включают в себя различные неточности установки и перемещения детали в зоне воздействия лазерного излучения.
Факторы третьей группы связаны с неоднородностью свойств и структуры обрабатываемых материалов; их влияние существенно, когда диаметр отверстия соизмерим с размерами неоднородностей структуры.